| 품명 | Phosphoric Acid |
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| 제품명 | 인산 |
| CAS | 7664-38-2 |
| PACKING | Drum/IBC/Bulk |
Phosphoric acid(H₃PO₄)는 강산의 일종으로, 반도체 제조 공정에서 뛰어난 식각 능력과 금속 표면 처리 능력으로 폭넓게 사용되는 화학 물질
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산업 분야
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사용 예시
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식각제 |
▶ 알루미늄(AI), 실리콘 질화막(Si₃N₄), 실리콘 산화막(SiO₂), 갈륨비소(GaAs)등 화합물 반도체 식각 재료 |
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세정제 |
▶ Metal Ion오염 제거, Particle제거(Wafer Surface)
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표면처리제 |
▶ 금속 표면 안정화, 산화막 형성 촉진용 Agent |
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pH조절제 |
▶ 식각액, 세정액 등의 pH 최적화 |