| 품명 | Ehtyl Lactate |
|---|---|
| 제품명 | 에틸락테이트 |
| CAS | 97-64-3 |
| PACKING | Tank/Drum |
Ethyl Lactate는 젖산(Lactic Acid)과 에탄올(Ethanol)의 에스터로, 비교적 낮은 독성, 우수한 용해성, 그리고 생분해성을 가진 용매로 활용 가능성이 높은 물질
|
산업 분야 |
사용 예시 |
|
용매(Solvent) |
▶ CMP Slurry, 식각액 Additive/특정 첨가제 용해(계면활성제, 부식 방지제 등), 희석제 |
|
세정제 |
▶ Post-Etch Residue제거, Photoresist Stripping(NMP대체용) |
|
분산제 보조제 |
▶ CMP Slurry내 Dispersant Co-solvent 용도의 분산 보조제 |
|
재료 특징 |
▶ 용해 특이성, 낮은 증기압, 재료 호환성 확인 필요 |