품명 | M-Methyl Piperazine |
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제품명 | NMP |
CAS | 109-01-3 |
PACKING | Bag/Drum |
N-Methyl-2-Pyrrolidone (NMP)는 극성 비양성자성 용매로서, 뛰어난 용해력과 높은 끓는점, 낮은 증기압을 가지고 있어 반도체 제조 공정에서 다양한 용도로 중요한 역할을 수행합니다.
산업 분야 | 사용 예시 |
Photoresist 제거제 | ▶ 고온 공정, 이온 주입 공정을 거치 포토레지스트막, 금속 배선 공정 후 잔류물 제거 |
용매(Solvent) | ▶ 특정 고분자(PVDF)를 용해하는 리튬 이온 배터리 바인더 용액의 용매 |
세정제 | ▶ 웨이퍼 표면 오염물(유기/무기, 그리스, 오일, 솔더 플럭스), 제조 장비 세정/세척 |
재료 특징 | ▶ 안정성 문제, 환경 규제, 재료 호환성 |